Гелиевый течеискатель с сухой откачкой

Каждая микротечь —выявлена до отгрузки.

Масс-спектрометрические гелиевые течеискатели с безмасляной откачкой — для полупроводниковых производств, гигафабрик аккумуляторов, линий фотовольтаики, герметичной электроники и фармацевтического CCIT.

5.0×10⁻¹³Pa·m³/s
Мин. регистрируемая скорость течи, вакуумный метод
≤ 0.5s
Время отклика
30m³/h
Скорость сухого форвакуумного насоса (8 L/s)
01 / Области применения

Пять отраслей — один уровень чувствительности

02 / Почему сухой насос

Безмасляный вакуум для чистого производства

Безмасляная конструкция

Нет обратного потока масла — безопасно для систем особо чистых газов, чистых помещений и любых поверхностей, требовательных к загрязнениям.

Быстрее форвакуум, проще перемещение

Скорость откачки 30 m³/h сокращает время предварительной откачки больших камер и повторных циклов испытаний.

Ниже стоимость владения

Без замены масла, масляных фильтров и утилизации — меньше обслуживания и меньше остановок линии.

Vacuum chamber
Аттестация вакуумной камеры
16×
быстрее предварительная откачка
30 m³/h сухой форвакуумный насос
по сравнению с масляным классом 1.8 m³/h
03 / Драйверы регуляторики

Стандарты меняются — методы контроля меняются вместе с ними.

GB 38031-2025

Китайский стандарт безопасности тяговых аккумуляторов вступил в силу 2026-07-01, подняв требование до «без возгорания, без взрыва» — количественный контроль герметичности выходит на линии производства ячеек и батарейных блоков.

ChP 2025 · 9628

Новая глава Фармакопеи КНР о целостности упаковки закрепляет детерминистические методы CCIT — гелиевый контроль среди самых чувствительных допущенных методов.

SEMI F78 / F81

Газовые системы фабрик аттестуются по каждому сварному шву на уровне ≈ 1×10⁻⁹ mbar·L/s — далеко за пределами возможностей падения давления и пузырьковых методов.

GJB 548 · 1014

Герметичная военная электроника классифицируется по герметичности вплоть до класса 10⁻⁸ Pa·m³/s методами точного гелиевого контроля.

Традиционные методы падения давления и облива водой ограничены диапазоном 10⁻³~10⁻⁴ Pa·m³/s. Эти стандарты сдвигают требования в диапазон 10⁻⁷~10⁻¹³ Pa·m³/s, который количественно покрывает только гелиевая масс-спектрометрия.

04 / Прибор

QG-800 · гелиевый течеискатель 8 L/s с сухим насосом

Масс-спектрометр с магнитным отклонением на 180°, сдвоенные иридиевые катоды с оксидом иттрия, встроенная эталонная течь и безмасляный форвакуумный насос 30 m³/h — создан для работы на производственной линии, а не только в лаборатории.

2.5 L/s
Скорость откачки по гелию (турбонасос Hicube 80)
≤ 3 min
От холодного старта до готовности
⁴He ³He H₂
Регистрируемые пробные газы
RS232 / IO
Вывод данных для интеграции с MES
Бесплатное испытание образца · без обязательств

Пришлите нам ваши изделия. Мы вернём количественный отчёт о течах.