01 / Отрасли
Сценарии применения в привязке к действующим стандартам
Каждая отраслевая страница сопоставляет типичные объекты контроля с нормативами, определяющими критерии приёмки, — и показывает, как QG-800 им соответствует.
Панель вентильной разводки спецгазов (VMP)
Полупроводники — Газораздача и вакуумные системы фабрик
Панели спецгазов, вакуумные камеры и шлюзовые камеры должны удерживать сверхнизкие скорости течи, прежде чем фабрика примет оборудование.
Типичные объекты контроля
- Линии спецгазов и панели VMP / VMB
- Вакуумные камеры, шлюзовые камеры и транспортные модули
- Подключение технологического оборудования (вторичный трубопровод)
- Аттестация компонентов и сварных швов
Стандарты и критерии приёмки
GB 50646-2020Нормы проектирования инженерных систем спецгазов
SEMI F78 / F81Методы испытаний газораспределительных систем и компонентов
ПриёмкаОбычно ≤ 1×10⁻⁹ mbar·L/s на сварной шов / соединение
Проблема → ответ QG-800
Тысячи сварных швов на установку — медленное обнюхивание срывает график
→Отклик ≤ 0.5 s сохраняет приёмку всей панели на критическом пути
Обратный поток масла загрязняет линии особо чистых газов
→Безмасляный сухой форвакуумный насос 30 m³/h защищает чистоту UHP-систем
Приёмка на уровне 10⁻⁹ mbar·L/s требует глубокого запаса чувствительности
→Порог 5.0×10⁻¹³ Pa·m³/s даёт запас ≈ 3 порядка
Контролируете герметичность изделий — Полупроводники?
Пришлите образец — мы бесплатно вернём количественный отчёт о гелиевом контроле герметичности.