干泵型氦质谱检漏
把每一微漏，挡在出厂之前。
无油干泵型氦质谱检漏仪，面向半导体、锂电、光伏、电子与医药五大行业的密封性定量检测。
5.0×10⁻¹³Pa·m³/s
真空法最小可检漏率
≤ 0.5s
响应时间
30m³/h
干式前级泵抽速（8 L/s）
01 / 应用行业
五大行业，同一灵敏度基准
02 / 为什么是干泵
无油真空，为洁净生产而生
无油设计
无油蒸气返流——特气系统、洁净室及任何要求零污染的表面均可安全使用。
粗抽更快，移动更方便
30 m³/h 前级抽速，显著缩短大腔体和反复测试循环的抽气时间。
全生命周期成本更低
免换油、免油雾过滤器、无废油处理——维护更少，停线更短。
真空腔体检漏
16×
粗抽速度提升
30 m³/h 干式前级泵
对比 1.8 m³/h 油泵机型
03 / 法规驱动
标准在升级，检测方法必须跟上
GB 38031-2025
动力电池新国标已于 2026-07-01 实施，要求升级为"不起火、不爆炸"——推动定量检漏进入电芯与 PACK 产线。
药典 2025 版 · 9628
《中国药典》新增包装完整性指导原则，确立确定性 CCIT 方法地位——氦检是其中灵敏度最高的方法之一。
SEMI F78 / F81
半导体特气系统按焊缝逐点验收，典型口径约 1×10⁻⁹ mbar·L/s——远超压降法与水检的能力范围。
GJB 548 · 1014
军用气密封装器件按内腔容积分级判定细漏率，氦质谱细检漏是标准方法。
传统压降法与水检法灵敏度仅达 10⁻³~10⁻⁴ Pa·m³/s 量级，而上述标准已将要求推入 10⁻⁷~10⁻¹³ Pa·m³/s 区间——只有氦质谱法能够定量覆盖。
04 / 推荐机型
QG-800 · 8 L/s 干泵型氦质谱检漏仪
180° 非均匀磁偏转质谱室、氧化钇铱双灯丝、内置通道式标准漏孔、30 m³/h 无油前级泵——为产线工况设计，而非仅限实验室。
2.5 L/s
进气口氦抽速（Hicube 80 分子泵）
≤ 3 min
冷启动至就绪
⁴He ³He H₂
可检示踪气体
RS232 / IO
可对接 MES 的数据输出
免费样品试测 · 无需承诺