01 / 产品
QG-800 · 干泵型氦质谱检漏仪
8 L/s 干泵配置：无油、快速，灵敏度满足半导体级验收——同时具备产线级的性价比。
5.0×10⁻¹³Pa·m³/s
最小可检漏率（真空法）
30m³/h
干式前级泵抽速（8 L/s）
≤ 0.5 s / ≤ 3 min
响应时间 / 启动时间
技术参数
最小可检漏率（真空法）5.0×10⁻¹³ Pa·m³/s
最小可检漏率（吸枪法）≤ 5.0×10⁻⁹ Pa·m³/s
响应时间≤ 0.5 s
启动时间≤ 3 min
分子泵氦抽速2.5 L/s（Hicube 80）
前级泵干泵 8 L/s（30 m³/h）
可检气体⁴He / ³He / H₂
测量单位Pa·m³/s、mbar·L/s 等
离子源氧化钇铱双灯丝
质谱室180° 非均匀磁偏转
校准漏孔内置通道式 10⁻⁷ mbar·L/s
通讯接口RS232 / IO
界面语言中文 / 英文 / 俄文
电源AC 220 V ±10 %
工作环境5–40 °C，≤ 80 % RH
尺寸 / 重量869×406×926 mm / 98 kg
来源：机型技术规格书（8 L/s 干泵配置）。
02 / 配置方案
三种前级泵配置
推荐
干泵 8 L/s
前级泵
干式涡旋泵，30 m³/h
适用场景
半导体、锂电、光伏、医药洁净场景；有无油要求；需要频繁移动工位
紧凑
干泵 4 L/s
前级泵
干式涡旋泵，15 m³/h 级
适用场景
实验室及中等负荷质检工位，有无油要求
经济
油泵 6 L/s
前级泵
油封旋片泵
适用场景
预算优先的一般工业场景，可接受油蒸气
定制真空腔体的真空法检测
不确定哪种配置适合您的产线？
把工件和目标漏率发给我们，免费试测后用数据给出配置建议，而非猜测。