01 / 技术对比
为产线而生的氦质谱技术
02 / 工作原理
1
示踪气体
氦气惰性、无毒，空气中本底仅约 5 ppm——噪声极低，再小的漏点也清晰可见。
2
磁偏转分析
180° 非均匀磁场将氦离子（m/z 4，兼容 ³He 与 H₂）与分析室中其他气体完全分离。
3
定量读数
离子流与漏率线性对应——输出 Pa·m³/s 的标定数值，而非合格与否的猜测。每日以内置标准漏孔验证。
03 / 进口机型对比
与进口主流机型的参数对比
| 参数 | QG-800（8 L/s 干泵） | Pfeiffer ASM 340 D | INFICON UL3000 Fab | Leybold Phoenix Quadro Dry |
|---|---|---|---|---|
| 真空法最小可检漏率（Pa·m³/s） | 5.0×10⁻¹³ | 5×10⁻¹³ | <5×10⁻¹³ | 5×10⁻¹³ |
| 吸枪法最小可检漏率（Pa·m³/s） | ≤ 5.0×10⁻⁹ | 5×10⁻¹⁰ | <5×10⁻⁹ | 1×10⁻¹⁰ |
| 进气口氦抽速（L/s） | 2.5 | 2.5 | 4 | >3.1 |
| 前级干泵抽速（m³/h） | 30 | 3.4 | >30 | 3 |
| 响应时间 | ≤ 0.5 s | < 1 s | < 1 s | < 1 s |
| 启动时间 | ≤ 3 min | 约 3 min | < 3 min | 110 s |
| 离子源 | 氧化钇铱双灯丝 | 氧化钇双灯丝 | 镀氧化钇铱双灯丝 | 长寿命铱双阴极 |
| 通讯接口 | RS232 / IO | RS232 / IO / USB / 总线选件 | USB / 以太网 / IO | HDMI / USB / 以太网 / Wi-Fi |
| 整机重量 | 98 kg | 45 kg | 约 120 kg | 35 kg |
注：漏率统一换算为 Pa·m³/s（1×10⁻¹² mbar·L/s = 1×10⁻¹³ Pa·m³/s）；竞品参数来源于各品牌公开样本 / 操作手册（2026-09 检索），以官方最新数据为准。
01
灵敏度同档
真空法本底均处于 5×10⁻¹³ Pa·m³/s 量级——而本机 ≤ 0.5 s 响应更快。
02
前级抽速 9~10 倍
30 m³/h 干式前级泵与半导体级 INFICON 同档，约为普发 / 莱宝干泵款的 9~10 倍。
03
拥有成本优势
国产制造带来更优的整机价格、备件与服务响应（进口机型代理报价通常约 US$15k–45k，视配置）。
04 / 合规与量值溯源
可校准、可验证、可审计
每台 QG-800 出厂内置通道式标准漏孔（10⁻⁷ mbar·L/s），用于每日校验。方法遵循 GB/T 15823-2009（氦质谱检漏方法）与 GB/T 13979，校准证书可溯源至国家基准。
GB/T 15823-2009
氦质谱检漏方法
GB/T 13979
质谱检漏仪校准规范
10⁻⁷ mbar·L/s
内置标准漏孔，每日校验
IQ / OQ
面向受监管行业的确认文件
想看您的工件实测数据？
免费样品试测——定量报告，无需承诺。